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气静压电主轴参数是重要依据，广泛应用了空气静压主轴系统，该系统是一个高精密的回转部件，它的端面偏摆量、轴向窜动量、轴心漂移量的大小事决定系统精度高低的重要参数
超声波8寸晶圆减薄研磨气静压电主轴
2023-05-10
超声波12寸晶圆减薄研磨气静压电主轴
2023-05-10
超声波划片6万转气静压电主轴
2023-05-10
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