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超声波8寸晶圆研磨用气静压永磁同步电主轴

发表于:2021-9-25 0:00:00 来源:http://www.lycsjx.com/supply/191.html

ZCS-165QD06
晶圆研磨用超声波气静压永磁同步电主轴
     
   

一、 系统组成

本系统主要是由ZCS-165QD06永磁同步电主轴,高精度编码器,5.5KW同步驱动控制器,三级精密过滤器,空气压力保护开关组成系统。
主轴安装方式采用法兰安装方式。
主轴冷却采用水冷却方式。
砂轮安装方式详见图纸。
二、 技术特点:
●该气静压电主轴采用 “纳米碳纤维材料”制作的高刚性、大承载、低耗气量、自润滑不磨损的高精密气静压(空气轴承)电主轴。其轴向和径向承载力高,耗气量低,自润滑功能,具有低碳绿色环保永不磨损的特点。
超声波电主轴内置超声波机构可以自动控制转换超声波工作状态,具有提高加工效率、提高表面光洁度、延长砂轮使用寿命、不易粘砂轮等的特性
●空气电主轴具有气密封+迷宫式防水防尘结构,密封效果更佳。
●主轴中心配置有中心出水孔,冷却水从轴后端进入前端喷出。
●主轴电机采用永磁同步电机,内置高精度编码器,用同步驱动控制器控制实现无级调速。

●本系统在气路进口加有压力传感器,具有过流、过载、气压低于下限等故障报警保护功能,并且具有和上位机通讯功能(RS-485)。


三、 ZCS-165QD06气静压电主轴主要技术指标

1、 主要技术指标

2、 主要精度指标
①、 轴头径向跳动≤ 0.1um
②、 端面跳动 ≤ 0.2um
③、 动平衡精度等级≤ G0.4
④、 动态全速度范围内振动V ≤ 0.5mm/s
⑤、 噪声全速度范围内 ≤ 60 dB

⑥、 主轴外壳耐高温 ≤ 30 ℃

⑦、 径向刚性8kg/um

径向载荷35kg

轴向刚性20kg/um

⑩、 轴向载荷115kg


3、特性曲线
 
4、产品尺寸
 



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