超声波晶圆划片电主轴

ZCS-65QD60超声波高精度气静压划片电主轴

一、 系统组成清单

二、 技术特点：

        ●该气静压电主轴采用 “纳米碳纤维材料”制作的高刚性、大承载、低耗气量、自润滑、不磨损的高精密气静压（空气轴承）电主轴。其轴向和径向承载力高，耗气量低，自润滑功能，具有低碳绿色环保不磨损的特点。

        ●超声波机构内置在主轴内，超声波辅助功能可开、可停，使用灵活方便。超声波的停启、频率和振幅的控制变化只需调节主轴的进气压力即可实现。超声波辅助振动加工，具有切削力强、让刀量小，加工效率高、提高加工精度和表面光洁度，刀刃锋利耐用，延长刀片使用寿命等特性。该项技术已取得实用新型专利，发明专利通过初审进入公示。

        ●本气静压电主轴具有气密封+迷宫式防水防尘结构，密封效果更佳。

        ●轴心固定锁紧气缸,设计有轴心固定锁紧气缸，便于更换法兰刀片。

        ●主轴轴头采用1：20锥孔径，可采用专用软、硬刀法兰夹具。

        ●主轴电机采用三相永磁同步电机，驱动采用同步变频器实现无级调速。

        ●本系统可在气路、水路进口处加有压力传感器，具有电机线圈过热、过流、过载、气压低于下限、以及冷却水断流等故障报警保护功能。

三、 ZCS-65QD60型气静压超声波高精度划片电主轴主要技术指标

        1、主要技术指标

        2、 主要精度指标

        ①、 轴头径向跳动 ≤ 0.3um

        ②、 轴头轴向跳动 ≤ 0.3um

        ③、 动平衡精度等级≤ G0.4

        ④、 动态全速度范围内振动V ≤ 0.3mm/s

        ⑤、 噪声全速度范围内 ≤ 60 dB

        ⑥、 主轴外壳最高温升 ≤ 30 ℃

        3、特性曲线

        4、外形图

四、超声波高精度气静压划片电主轴的主要技术特点：

        1、切（磨）削力强，是普通切（磨）削力的 3～10倍，高速高效；

        2、加工精度可以提高一个等级以上；

        3、刀片（砂轮）使用寿命大幅度提高，耐用性增强10倍以上；

        4、抑制毛刺产生，自激振动的抑制性能强，加工系统稳定性能提高，切割边缝整齐不崩边；

        5、能抑制刀片（砂轮）表面的附着物，不易粘黏，不易产生积削瘤，刀片长久保持锋利；

        6、更适合薄片、细长孔（杆）等难加工材料的形态部件；

        7、粗糙度可大幅度降低，实现镜面加工；

        8、超声波振动的空化作用可提高冷却效果，减少切（磨）削热量，避免产品加工表面烧伤；

        9、超声振动辅助加工为：单晶硅、玻璃、陶瓷、钨钢、钻石，不锈钢、钛合金、高温合金、硬质合金、镍基合金等硬脆黏材料的切（磨）削加工提供了一种有效的加工技术。

上一个：

下一个：超声波12寸晶圆减薄研磨抛光电主轴