采用纳米碳钎维多孔质空气轴承，主轴带动研磨盘超精密旋转的同时主轴整体在气浮垫上做行星摆动旋转，实现对金刚石双向超精密研磨抛光。
1、 主要技术指标       
2、 主要精度指标 
①、 轴向径向跳动精度≤ 0.3um             ⑥、 轴向刚性≥500N/um （0.55MPa)
②、 旋转精度≤ 0.1um                     ⑦、 径向刚性≥100N/um （0.55MPa)
③、 动态全速度范围内振动 V ≤ 0.1mm/s    ⑧、 轴向最大承载≥1500N 
④、 噪声全速度范围内 ≤ 60 dB            ⑨、 径向最大承载≥350N
⑤、 主轴外壳最高温升 ≤ 10 ℃            ⑩、 重量：85KG
3、电机特性曲线                                           

转速-功率曲线                                                           转速-转矩曲线

4、外形图