采用纳米碳钎维多孔质空气轴承，主轴带动研磨盘超精密旋转，实现对金刚石的超精密研磨抛光。
1、 主要技术指标    
2、 主要精度指标 
①、 轴向径向跳动精度≤ 0.3um             ⑥、 轴向刚性≥500N/um （0.55MPa)
②、 旋转精度≤ 0.1um                     ⑦、 径向刚性≥100N/um （0.55MPa)
③、 动态全速度范围内振动 V ≤ 0.1mm/s    ⑧、 轴向最大承载≥1500N 
④、 噪声全速度范围内 ≤ 60 dB            ⑨、 径向最大承载≥350N
⑤、 主轴外壳最高温升 ≤ 10 ℃            ⑩、 重量：86KG
3、电机特性曲线 

转速-功率曲线                                                           转速-转矩曲线

4、外形图