采用纳米碳钎维多孔质空气轴承，主轴带动研磨盘超精密旋转，实现对金刚石超精密研磨抛光。超声波辅助振动加工采用空气动力学原理，气压调控振幅和频率的大小，超声振动可开可关，实现超声波高速研磨，以及非超声的超精密抛光的加工工艺，一机两用，高效高精度。
1、主要技术指标
2、 主要精度指标 
①、 轴向径向跳动精度 ≤ 0.3um                  ⑥、 轴向刚性≥60N/um （0.55MPa)
②、 旋转精度 ≤ 0.1um                          ⑦、 径向刚性≥60N/um （0.55MPa)
③、 非超声振动V≤0.1mm/s（超声振动0.7mm/s     ⑧、 轴向最大承载≥200N 
④、 噪声全速度范围内≤ 75 dB                   ⑨、 径向最大承载≥100N
⑤、 主轴外壳最高温升≤ 10 ℃                   ⑩、 重量：18KG
3、电机特性曲线

转速-功率曲线                                                           转速-转矩曲线

4、超声波压力频率振幅特性曲线

压力-频率曲线                                                            压力-振幅曲线

5、外形图
6、超声波辅助磨削加工的主要特点：
1、磨削力强，是普通磨削力的 3倍，在相同的加工工艺条件下的产能效率可大幅提高；
2、加工精度可以提高一个等级以上；
3、砂轮使用寿命大幅度提高，耐用性增强3倍以上；
4、抑制毛刺产生，自激振动的抑制性能强，加工系统稳定性能提高；
5、能抑制砂轮表面的附着物，不容易粘黏砂轮，不容易产生积削瘤；
6、更适合薄壁件、细长孔（杆）等难加工材料的形态部件；
7、粗糙度可大幅度降低，实现镜面加工；
8、超声波振动的空化作用可提高冷却效果，减少磨削热量，避免产品加工表面的烧伤；
9、超声振动辅助加工为：玻璃、陶瓷、钨钢、金刚石、钻石、单晶硅等硬脆材料的研磨抛光加工，以及不锈钢、钛合金、高温合金、硬质合金、镍基合金加等赢黏材料的磨削加工提供了一种有效的加工工艺技术。