该机床采用超声波气静压电主轴， 气静压高精度转台（选配），X/Y/Z三轴采用THK高精度直线导轨、雅克贝斯高精度直线电机驱动。龙门式大理石床身，16T圆盘式自动刀库。高精密光珊尺，西门子828D总线式精密数控系统，无线在线测量探针，激光对刀仪（选配），组成全闭环控制加工系统。具体技术参数如下：
一、技术特点：
●本机床适用于直线、曲线、端面、锥面、孔的磨、铣、镗、钻、攻的高精度加工。可广泛应用于半导体、航空航天、消费电子、光学、医疗、汽车、精密制造等行业的脆硬黏软等材料的高速、高光、镜面加工。

①半导体：单晶硅（碳化硅、石英玻璃、氧化铝）喷淋盘微孔加工、石墨坩埚型腔、碳化硅晶圆托盘、石英玻璃基板、石英玻璃多面棱镜、多晶硅栅极环、导流板连接块等产品的加工。

        

        单晶硅喷淋盘                      氧化铝喷淋盘                      碳化硅喷淋盘                    石墨坩埚 

②航空航天：碳纤维复合材料、不锈钢飞机发动机制、铝基碳化硅刹车盘、碳碳复合材料、氧化锆陶瓷航空器件、石英玻璃天文望远镜、芳纶纸蜂窝五角星等产品加工。 
③消费电子：氧化锆陶瓷手表外壳、石墨模、铝硅酸盐玻璃、氧化锆陶瓷手表壳内、超薄玻璃、蓝宝石材料加工、陶瓷内腔、氮化硅盖板内腔等等产品加工。
●该超声波气静压电主轴，采用 “纳米碳钎维材料”制作的高精度（旋转精度0.3um)、高刚性、低振动(振动值0.2mm/s)、低耗气量(60L/min)、自润滑高精度气静压（空气轴承）主轴。具有低碳绿色环保的特点。
●主轴采用超声波永磁同步电主轴，额定功率7.5KW、额定转速30000转/分，同步变频器驱动器驱动无极调速。主轴采用HSK E32刀柄实现自动装夹功能。
●超声波采用空气动力学原理使整个轴芯轴向振动，轴芯在空气轴承内部振动时在径向和轴向通过压缩空气产生静压气膜，保证轴芯在气旋浮状态下高速轴向振动旋转。无超声电源、换能器等装置，通用标准的刀柄、刀具，不增加额外费用。具有简单可靠、皮实耐用、运行费用低的优势，是超声波技术的发展方向。
●超声波机构内置在主轴内，超声波的停启、频率和振幅的控制变化只需调节主轴的进气压力即可实现。超声波振动加工，具有磨削力强、让刀量小，加工效率高、提高精度和表面光洁度、延长刀具使用寿命、不易粘刀具等特性。
●X/Y/Z三轴采用日本THK高精度直线导轨，新加坡雅克贝斯直线电机驱动，具有高刚性、高定位精准、低噪音、低摩擦特性，可做快速位移及获得最佳循圆精度。
●床身采用龙门式结构，底座门桥采用人造矿物质材料，移动托板采用天然花岗岩台面以及 
高品质的HT300铸铁T型槽板，组织稳定，结构坚实。
●X/Y/Z三轴移动均采用新加坡雅克贝斯高精度直线电机驱动，均配置有海德汉高精密光珊尺，以及西门子828D总线式精密数控系统，组成三轴全闭环控制高精度加工系统。
●刀具采用HSK E32刀柄安装方式。配置16T圆盘式刀库,具有自动换刀功能。
●在线检测，采用中图高精度无线探针，实现对刀以及测量尺寸。
●刀具检测（选配），采用激光对刀仪，实现对刀具测量自动补偿，以及评估刀具状况。
●在气路、水路进口处加有压力传感器，具有过流、过载、气压低于下限、以及冷却水断流等故障报警保护功能。并且具有和上位机通讯功能（RS-485）。
二、整机主要技术参数表
三、设备内部结构
 四、使用安装要求
1、操作人员要求：本机床是高精度数控磨床，要求操作者具备数控磨床操作的基本技能，需经过乙方培训并掌握安全操作规程后方能使用。
2、安装及环境要求：
供电电压波动在±10%以内，工作温度原则上要求安装在恒温间（22℃±1℃）内使用，湿度小于75%，安装要远离震源，有条件的可以做隔震沟，设备水平放置水平度小于0.02mm，用可调式垫铁调整水平即可。
3、压缩空气气源需要三级过滤，本机床带有精密三级过滤器，但供气气源需要经过干燥机处理，要求压力在0.5-0.7MPa范围,含水量小于90%，含油量小于90%，温度17-19℃，含杂质小于1um。
4、主轴冷却水要求恒温，温度范围温度20-22℃，流量1-2L/min，压力2-3kg。