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高功12寸晶圆减薄电主轴:ZCS-190QD04G

ZCS-190QD04G

高功12寸晶圆减薄电主轴:ZCS-190QD04G
  • 功能特点
  • 外形尺寸
  • 1、主要技术指标

    2、主要精度指标 
    ①、 主轴轴向径向跳动精度≤ 0.5um        ⑥、径向刚性≥150N/um (0.55MPa)
    ②、 动平衡精度等级≤ G0.4               ⑦、轴向刚性≥800N/um (0.55MPa)
    ③、 全速度振动 V≤ 0.1mm/s              ⑧、径向最大载荷≥900N  
    ④、 超声噪声全速度范围内 ≤ 80 dB       ⑨、轴向最大载荷≥2400N
    ⑤、 主轴外壳最高温升 ≤ 10 ℃           ⑩、重量:130KG

    3、转速功率转矩特性曲线


    转速-功率曲线                                                           转速-转矩曲线

    4、产品尺寸


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