1、主要技术指标

2、主要精度指标 
①、 转台轴向径向跳动精度≤ 0.5um         ⑥、 轴向刚性≥900N/um （0.55MPa)
②、 动平衡精度等级≤ G0.4                ⑦、 径向刚性≥180N/um （0.55MPa)
③、 动态全速度范围内振动 V ≤ 0.1mm/s    ⑧、 轴向最大承载≥3500N 
④、 噪声全速度范围内 ≤ 60 dB            ⑨、 径向最大承载≥1000N
⑤、 主轴外壳最高温升 ≤ 10 ℃            ⑩、 重量：85KG

3、特性曲线

4、外形图