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高功6/8/12寸复合减薄转台:ZCS-400QD01

ZCS-400QD01

高功6/8/12寸复合减薄转台:ZCS-400QD01
  • 功能特点
  • 外形尺寸
  • 1、主要技术指标

    2、 主要精度指标 
    ①、 转台轴向径向跳动精度≤ 0.5um          ⑥、 轴向刚性≥1000N/um (0.55MPa)
    ②、 动平衡精度等级≤ G0.4                 ⑦、 径向刚性≥200N/um (0.55MPa)
    ③、 动态额定速度范围内振动 V≤0.1mm/s     ⑧、 轴向最大承载≥5000N 
    ④、 噪声全速度范围内 ≤ 60 dB             ⑨、 径向最大承载≥2600N
    ⑤、 主轴外壳最高温升 ≤ 10 ℃             ⑩、 重量:240KG
    3、特性曲线

    4、外形图

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