1、主要技术指标
2、 主要精度指标
①、 转台回转精度≤ 0.1um ⑥、 轴向刚性≥350N/um
②、 动平衡精度等级≤ G0.4 ⑦、 轴向最大承载≥2500N
③、 动态全速度范围内振动 V ≤ 0.1mm/s ⑧、 径向刚性≥125N/um
④、 噪声全速度范围内 ≤ 50 dB ⑨、 径向最大承载≥2500N
⑤、 主轴外壳最高温升 ≤ 10 ℃ ⑩、 重量 130KG
3、特性曲线
4、外形图
上一个:12寸晶圆减薄转台