高功6/8/12寸复合减薄转台

高功6/8/12寸复合减薄转台：ZCS-400QD01型气静压电主轴

1、主要技术指标

2、 主要精度指标

①、 转台回转精度≤ 0.1um                    ⑥、 轴向刚性≥500N/um

②、 动平衡精度等级≤ G0.4                   ⑦、 轴向最大承载≥3500N

③、 动态额定速度范围内振动 V≤0.1mm/s       ⑧、 径向刚性≥200N/um

④、 噪声全速度范围内 ≤ 50 dB               ⑨、 径向最大承载≥2600N

⑤、 主轴外壳最高温升 ≤ 10 ℃               ⑩、 重量 240KG

3、特性曲线 

4、外形图

上一个：8万转超声波气静压电主轴

下一个：12寸晶圆减薄转台